ZYGO 激光干涉儀：精密測(cè)量領(lǐng)域的精確檢測(cè)

在半導(dǎo)體、光學(xué)制造、航空航天等產(chǎn)業(yè)中，重要部件的面形精度、尺寸公差直接決定產(chǎn)品性能，對(duì)測(cè)量設(shè)備的精確度、穩(wěn)定性提出要求。ZYGO 激光干涉儀憑借全場(chǎng)景適配能力、優(yōu)越的測(cè)量性能與多元實(shí)用優(yōu)勢(shì)，已成為研發(fā)驗(yàn)證、生產(chǎn)質(zhì)控的關(guān)鍵檢測(cè)裝備，深度賦能多行業(yè)精密制造升級(jí)。

全場(chǎng)景覆蓋，適配多元測(cè)量需求

ZYGO 激光干涉儀以靈活的測(cè)量方案適配范圍，實(shí)現(xiàn)多行業(yè)、多類(lèi)型工件的精確檢測(cè)。其測(cè)量對(duì)象覆蓋從微米級(jí)光學(xué)鏡片到米級(jí)大型機(jī)床導(dǎo)軌，既能應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體晶圓的納米級(jí)面形檢測(cè)，也可適配航天器光學(xué)系統(tǒng)的大口徑元件測(cè)量；支持平面、球面、非球面、自由曲面等復(fù)雜形貌檢測(cè)，無(wú)論是光學(xué)鏡頭的曲率半徑測(cè)量，還是精密模具的表面粗糙度驗(yàn)證，均能提供定制化檢測(cè)方案。

行業(yè)適配性尤為突出：半導(dǎo)體領(lǐng)域，可檢測(cè)光刻機(jī)投影物鏡、晶圓載臺(tái)的平面度與平行度，保障芯片制程精度；光學(xué)制造場(chǎng)景中，從手機(jī)攝像頭鏡片到車(chē)載激光雷達(dá)透鏡，均能實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)面形誤差分析；航空航天領(lǐng)域，用于航天器導(dǎo)航光學(xué)系統(tǒng)、發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪葉片的精密檢測(cè)，耐受極端溫度環(huán)境下的測(cè)量需求；工業(yè)精密制造領(lǐng)域，可校準(zhǔn)數(shù)控機(jī)床導(dǎo)軌的直線度、垂直度，提升機(jī)床加工精度。此外，醫(yī)療設(shè)備的顯微光學(xué)元件、量子通信的激光鏡片檢測(cè)，也能通過(guò)參數(shù)優(yōu)化實(shí)現(xiàn)精確適配。

性能優(yōu)越，實(shí)現(xiàn)高精度與高效率雙突破

高精度與高穩(wěn)定性是 ZYGO 激光干涉儀的重要性能標(biāo)簽。其采用相移干涉技術(shù)，面形測(cè)量精度可達(dá) λ/200（λ=632.8nm），分辨率低至 0.1nm，能捕捉工件表面微小的凹凸誤差 —— 在光學(xué)鏡片檢測(cè)中，可精確識(shí)別 0.5nm 的面形偏差，遠(yuǎn)優(yōu)于傳統(tǒng)測(cè)量設(shè)備；三維形貌測(cè)量重復(fù)性誤差小于 0.3nm，確保批量生產(chǎn)中檢測(cè)數(shù)據(jù)的一致性。

環(huán)境適應(yīng)性與測(cè)量效率同樣表現(xiàn)亮眼。設(shè)備搭載動(dòng)態(tài)振動(dòng)補(bǔ)償技術(shù)，在車(chē)間常規(guī)振動(dòng)環(huán)境下（≤5μm）仍能保持測(cè)量精度，無(wú)需搭建隔振實(shí)驗(yàn)室；部分機(jī)型支持快速掃描模式，單塊直徑 100mm 的光學(xué)鏡片檢測(cè)時(shí)間可縮短至 30 秒，較傳統(tǒng)干涉儀效率提升 40%。針對(duì)透明或高反射工件，通過(guò)多波長(zhǎng)干涉技術(shù)有效解決測(cè)量信號(hào)衰減問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)從玻璃鏡片到金屬模具的無(wú)差別精確檢測(cè)。

技術(shù)賦能，構(gòu)筑多維競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)

ZYGO 激光干涉儀的重要競(jìng)爭(zhēng)力源于技術(shù)創(chuàng)新與實(shí)用設(shè)計(jì)的深度融合。非接觸測(cè)量方式可避免工件表面劃傷，尤其適配光學(xué)元件、半導(dǎo)體晶圓等易損部件檢測(cè)，減少因測(cè)量導(dǎo)致的產(chǎn)品報(bào)廢率；智能化軟件系統(tǒng)支持自動(dòng)數(shù)據(jù)采集、誤差分析與報(bào)告生成，內(nèi)置多種行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（如 ISO、ASME）的評(píng)價(jià)模型，無(wú)需人工二次處理，將檢測(cè)流程自動(dòng)化率提升 60%。

可靠性與經(jīng)濟(jì)性形成雙重保障：設(shè)備采用高穩(wěn)定性激光光源，壽命可達(dá) 10 萬(wàn)小時(shí)，年均故障率低于 0.5%，減少維護(hù)停機(jī)時(shí)間；模塊化設(shè)計(jì)使測(cè)量范圍可靈活擴(kuò)展，通過(guò)更換物鏡、載物臺(tái)，即可實(shí)現(xiàn)從微觀到宏觀的跨尺度測(cè)量，避免重復(fù)采購(gòu)設(shè)備；全生命周期校準(zhǔn)服務(wù)確保長(zhǎng)期測(cè)量精度，部分方案支持現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)，無(wú)需拆卸設(shè)備，進(jìn)一步降低企業(yè)運(yùn)維成本。

從實(shí)驗(yàn)室研發(fā)的原型件驗(yàn)證到生產(chǎn)線的批量質(zhì)控，ZYGO 激光干涉儀以全場(chǎng)景適配能力、精確可靠的測(cè)量性能與高效實(shí)用的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，持續(xù)推動(dòng)制造領(lǐng)域的質(zhì)量升級(jí)，成為精密測(cè)量領(lǐng)域不可或缺的重要裝備。